| 键合片尺寸 | 6inch/8inch/12inch |
| 温度能力 | 常温~550℃/(可选） 最大加热速率>30℃/min 最大冷却速率>15℃/min |
| 上片方式 | 半自动/全自动 |
| 键合片尺寸 | 6inch/8inch/12inch |
| 温度能力 | 常温~550℃/(可选） 最大加热速率>30℃/min 最大冷却速率>15℃/min |
| 上片方式 | 半自动/全自动 |