| 鍵合片尺寸 | 6inch/8inch/12inch |
| 溫度能力 | 常溫~550℃/(可選） 最大加熱速率>30℃/min 最大冷卻速率>15℃/min |
| 上片方式 | 半自動/全自動 |
| 鍵合片尺寸 | 6inch/8inch/12inch |
| 溫度能力 | 常溫~550℃/(可選） 最大加熱速率>30℃/min 最大冷卻速率>15℃/min |
| 上片方式 | 半自動/全自動 |